UFKL
pevné látky   biofyzika                 
Náš ústav se účastní projektu

CEITEC

Středoevropský technologický institut

  Ústavy fyziky jsou součástí Přírodovědecké fakulty Masarykovy univerzity v Brně. Cesky   English  

Laboratoř polovodičů – čisté prostory


Úvod        Výuka        Vybavení        Ukázky        Historie


  2021 a 2022: letošní praktika

Po překonání epidemilogických pandemií opět nabíhají v čistých prostorách praktika pro studenty Masarykovy univerzity i (jednodenní) výuka pro studenty fyziky či inženýrství z ostatních českých vysokých škol (Univerzita Palackého, Univerzita Pardubice, VŠB TUO).
Dle zájmu a domluvy se těšíme i na exkurze ze středních škol.

Máte-li kdokoliv další zájem o praktikum pro vaše studenty, ozvěte se prosím vedoucímu laboratoře a domluvíme podrobnosti.

  2018: letošní praktika

I v letošním roce probíhají v čistých prostorách praktika pro studenty Masarykovy univerzity i (jednodenní) výuka pro studenty fyziky či inženýrství z ostatních českých vysokých škol (MFF UK, ČVUT, Univerzita Palackého, Univerzita Pardubice).
Dle zájmu a domluvy se těšíme i na exkurze ze středních škol.

Máte-li kdokoliv další zájem o praktikum pro vaše studenty, ozvěte se prosím vedoucímu laboratoře a domluvíme podrobnosti.

  Duben 2017: 10 let provozu laboratoře.

V jarním semestru 2017 jsme si připomněli 10 let provozu laboratoře. Díky důslednému dodržování je v ní stále tak čisto a bezprašno jako při otevření.

  Prosinec 2015: virtuální prohlídka laboratoře.

Laboratoř si nyní nově můžete prohlédnout virtuálně díky Street View, ale zveme vás i ke skutečné exkurzi, návštěvě či praktiku.

  18. dubna 2007: První praktikum pro studenty.

V jarním semestru 2007 proběhla první praktika, která absolvovali všichni studenti fyziky na Přírodovědecké fakultě MU ze 3. až 5. ročníku.

První praktikum
Manipulace s křemíkovými deskami.

První praktikum
Skupina studentů fyziky v prvním praktiku z fotolitografie.


  13. dubna 2007: Slavnostní otevření laboratoře.

Tisková zpráva: Masarykova univerzita a společnost ON Semiconductor otevřely novou polovodičovou laboratoř.
Masarykova univerzita a společnost ON Semiconductor (Nasdaq: ONNN), přední světový dodavatel polovodičových součástek pro řízení napájení, dnes slavnostně otevřely novou univerzitní laboratoř pro výuku a výzkum polovodičových technologií. ...pokračování...

Press release: Masaryk University and ON Semiconductor Open New Silicon Research Laboratory in The Czech Republic.
Brno-based lab to help educate students of physics and microelectronics in a state-of-the-art clean room environment to better prepare them for a career in high tech
Brno, Czech Republic, April 13, 2007 – Masaryk University and ON Semiconductor (Nasdaq: ONNN) a leading global supplier of power semiconductor solutions, today celebrated the grand opening of their new laboratory for academic education and both silicon technology and microelectronics research. ...continue...


Stáhnout tiskovou zprávu jako pdf: česká a anglická verze.
Tuto tiskovou zprávu otiskl i server společnosti ON Semiconductor.

V rámci slavnostního zahájení pronesli proslov k účastníkům zástupci Masarykovy univerzity (prorektor Mikuláš Bek, děkan přírodovědecké fakulty doc. Milan Gelnar a vedoucí ÚFKL prof. Josef Humlíček), a viceprezidenti vedení společnosti ON Semiconductor (Peter Zdebel, senior vicepresident and chief technology officer, a Michael Mandracchia, vicepresident a generální manažer pro Českou Republiku a Slovensko). Zahájení moderoval prof. Eduard Schmidt z ÚFKL.

Videogalerie:

Fotogalerie:

Jak o otevření naší laboratoře informují média:

Zpráva o otevření laboratoře proběhla hlavními biz-news servery a prakticky všemi servery sledujícími polovodičový průmysl:


  Duben 2007: Už pracujeme a těšíme se na oficiální otevření.

Uvnitr
Stroje, a lidé ve slušivých kombinézách.

Oslava čistoty a ISO 5
Oslava čistoty, isopropylalkoholu a ISO 5.

Informace pro zvídavé: na fotkách jsou Karel, Milan, Petr a Ríša.


  Březen 2007: Instalace přístrojů i nábytku je kompletní.

Obrázky nevystavujeme, těšte se na duben...


  Leden 2007: Některá nainstalovaná zařízení.

Fotolitografie
Fotolitografie.

Chemické boxy
Leptací boxy.

Naprašovačka
Naprašovačka.

Stripovačka a chemický box
Plazmatické leptání, chemické leptání.


  Listopad 2006: prázdné čisté prostory.

Nechť se vám líbí obrázky z našich superčistých prostorů ... zařízení pro následující technologii se aktuálně instaluje:

– Optická litografie
– Difúze a oxidace
– Naprašování metalizace
– Mokré boxy
– Měření


  Něco z historie projektu čistých prostor.

Smlouva mezi MU a ON Semiconductor (tehdy Terosil a Sezam) o vybudování laboratoře podepsána na jaře 2003. Realizací projektu za ÚFKL byl pověřen Petr Mikulík. Příprava projektu proběhla v letech 2004 až 2005. Stavba trvala od února do června 2006 (realizaci čistých prostor provedla Elektroprojekta Rožnov, rekonstrukci budovy ÚFKL Železniční stavitelství v rámci rekonstrukce areálu PřF na Kotlářské). Laboratoř převzalo ÚFKL v září 2006. Na konci roku 2006 dodala společnost ON Semiconductor zařízení, ta byla zprovozněna v únoru 2007. Oficiální otevření laboratoře proběhlo v dubnu 2007, viz samostatná velká kapitola výše.  


(c) Ústav fyziky kondenzovaných látek                             CleanRoom-historie.shtml změněn 22.03.2022