Determination of titanium atom and ion densities in sputter deposition plasmas by optical emission spectroscopy
Článek představuje metodu využívající efektivní větvící poměry, která nám umožňí určit koncentraci atomů a iontů titanu z intenzit samoabsorbovaných spektrálních čar. Metoda je založena na fitování teoreticky vypočtených větvících poměrů a větvících poměrů určených experimentálně z naměřených poměrů intenzit vybraných rezonančních čar atomů a iontů titanu. Metoda byla úspěšně testovaná na DC i HiPIMS magnetronovém výboji.
Plasma Sources Science and Technology 24 (2015) 065022