Josja Van Bever z Belgie zkoumá dvojité hysterezní chování reaktivního naprašování

Josja Van Bever je studentem třetího ročníku doktorského studia na belgické univerzitě v Gentu. Pracuje na Department of Solid State Sciences ve výzkumné skupině DRAFT (Dedicated Research on Advanced Films and Targets). V magisterském programu studoval fyziku a astronomii. Základní principy procesů probíhajících při magnetronovém naprašování jsou tématem jeho výzkumu. Na Ústav fyziky a technologií plazmatu přijel na dva týdny, aby provedl nové experimenty, které by k jeho výzkumu mohly přispět.

Josja Van Bever studuje magnetronové naprašování teoreticky pomocí modelování i experimentálně. Reaktivní magnetronové naprašování je obtížně kontrolovatelný proces. V závislosti na nastavených podmínkách se proces může nacházet v několika různých stavech. Vlastnosti konečného produktu, tenké vrstvy, jsou dány těmito pracovními podmínkami. Proto lze při stejných parametrech procesu získat různé výsledné povlaky. Josja ke studiu těchto metastabilních stavů používá tzv. RSD model, který vyvinul tým v Gentu. Doposud zjistili, že historie terče během procesu naprašování je příčinou onoho dvojitého hysterezního chování reaktivního naprašování.

Proč sis vybral Brno a naši univerzitu?

Na RSD konferenci jsem se setkal s prof. Petrem Vašinou. Prezentoval jsem tam právě svůj výzkum dvojité hystereze reaktivního magnetronového naprašování. Prof. Vašina mě po přednášce oslovil s dotazem, zda bych mohl změřit stejné pozorované chování pro tantalový terč. Od té doby jsme měli několik online schůzek, na kterých jsme diskutovali různá složení Ta a Al s cílem najít alternativní přístup k měření dvojité hystereze. K pozorování a měření chování dvojité hystereze reaktivního magnetronového naprašování potřebujeme totiž dobrou kontrolu systému. Depoziční zařízení FlexiLAB na ÚFTP v Brně nabízí alternativní diagnostiku. Pro mě je také dobré navázat nové spolupráce a kontakty.

V Gentu máme reaktory vlastní výroby. Je ale dobré je porovnat s průmyslovým zařízením. Pro řízení procesu je zapotřebí dostatek dat. Porovnávat zařízení, procesy a měření zde a doma v Gentu je přínosem pro pochopení procesu. V Brně je k měření k dispozici také terč se smíšeným složením tantalu a hliníku.

Co považuješ na svém výzkumu za to nejzajímavější?

Zajímavé je, že je možné vypočítat a namodelovat něco, co lze pozorovat ve skutečném experimentu. Líbí se mi, že mohu pochopit proces pomocí modelování a pak ho porovnat s experimenty. Něco předpovídám a mám přímou zpětnou vazbu z experimentu. Experimenty jsou pro mě výzvou, abych novými poznatky obohacoval naše dosavadní teoretické znalosti problému.

Proč jsi šel studovat fyziku a astronomii?

To je jednoduché. Přijde mi to zajímavé. Když jsem byl malý, chtěl jsem být uměleckým malířem, pak inženýrem, pak architektem. Na střední škole jsem dostal cenu za projekt z fyziky/matematiky a přečetl jsem si knihu Trespassing on Einstein's Lawn. Od té chvíle jsem chtěl věcem kolem sebe opravdu rozumět a intuitivně chápat i kvantovou fyziku. Šel jsem tedy studovat teoretickou fyziku. Poté jsem dospěl k závěru, že k opravdovému pochopení teorie potřebuji experimentální srovnání.

Co je pro tebe u nás v Brně výzvou?

Rozhodně jazyk. Pak měna. Posledním je asi operační software depozičního zařízení FlexiLAB. :)

Na jak dlouho si svůj pobyt u nás naplánoval?

Pobyt jsem naplánoval na dva týdny. Delší pobyt by nebyl přínosem, když by experimenty nefungovaly. Pokud ale budou fungovat, provedu analýzu dat a modelu, tak v budoucnu bych mohl naplánovat další návštěvu. Také bych měl zájem o měření na dalším zařízení Alcatel zde v ÚFTP laboratořích. Zařízení Alcatel je pro mě zajímavé tím, že používá větší terče a nabízí rychlou zpětnou vazbu řízení procesu zařízením Speedflow.

Díky za odpovědi a přejeme ti úspěchy jak v pracovním, tak osobním životě.