Nový diagnostický přístroj RFEA

Výzkumná skupina Depozice tenkých vrstev a nanostruktur má k dispozici nový přístroj rozšiřující dosavadní diagnostické možnosti při procesu nanášení tenkých vrstev. Jedná se o zařízení RFEA (Retarding Field Energy Analyser) od firmy​ Impedans Plasma Measurement z Irska.

Přístroj slouží k diagnostice depozičních procesů pomocí časově rozlišeného měření toku dopadajících iontů. Podobně jako hmotnostní spektroskopie dokáže získat s vysokou přesností jak energiové rozdělení, tak i celkový tok iontů, ale samotné druhy částic nerozliší. S pomocí dalších zařízení, jako je QCM s předpětím či Langmuirova sonda, nyní vědci dokážou provést komplexní diagnostiku iontů, jejichž vlastnosti jsou klíčové k růstu vysoce kvalitních tenkých vrstev pomocí magnetronového naprašování.

Jak doplňuje Mgr. Peter Klein, Ph.D., „toto nové zařízení přináší nové možnosti v diagnostice plazmatu. Svojí kompaktností a jednoduchostí použití je vhodné pro všechny druhy depozičních zařízení a zkoumaných metod příprav tenkých vrstev včetně HiPIMS.“