Od poloviny července mají vědci k dispozici nové zařízení rozšiřující dosavadní diagnostické možnosti při procesu nanášení tenkých vrstev. RFEA (Retarding Field Energy Analyser) umožňuje časově rozlišená měření dopadajících iontů například právě při magnetronovém naprašováni tenkých vrstev.
Výzkumná skupina Depozice tenkých vrstev a nanostruktur má k dispozici nový přístroj rozšiřující dosavadní diagnostické možnosti při procesu nanášení tenkých vrstev. Jedná se o zařízení RFEA (Retarding Field Energy Analyser) od firmy Impedans Plasma Measurement z Irska.
Přístroj slouží k diagnostice depozičních procesů pomocí časově rozlišeného měření toku dopadajících iontů. Podobně jako hmotnostní spektroskopie dokáže získat s vysokou přesností jak energiové rozdělení, tak i celkový tok iontů, ale samotné druhy částic nerozliší. S pomocí dalších zařízení, jako je QCM s předpětím či Langmuirova sonda, nyní vědci dokážou provést komplexní diagnostiku iontů, jejichž vlastnosti jsou klíčové k růstu vysoce kvalitních tenkých vrstev pomocí magnetronového naprašování.
Jak doplňuje Mgr. Peter Klein, Ph.D., „toto nové zařízení přináší nové možnosti v diagnostice plazmatu. Svojí kompaktností a jednoduchostí použití je vhodné pro všechny druhy depozičních zařízení a zkoumaných metod příprav tenkých vrstev včetně HiPIMS.“
Doc. Tomáš Hoder, vedoucí výzkumné skupiny Diagnostika a modelování plazmatu Ústavu fyziky a technologií plazmatu, vycestoval na září 2023 do Francie. Jako zvaný profesor s francouzskými kolegy spolupracuje na výzkumu bariérových výbojů v CO2.
Vědci z výzkumné skupiny Depozice tenkých vrstev a nanostruktur ÚFTP vyrazili za pilotními experimenty k japonským kolegům. Vrstvy na bázi Nb2BC by mohly představovat atraktivní kombinaci mechanických vlastností: tvrdost a pružnost.
