Stránka 17: Depozice tenkých vrstev a nanostruktur | physics.muni.cz :: Stránky ústavů fyziky Masarykovy univerzity v Brně.

Depozice tenkých vrstev a nanostruktur

Výzkumná skupina Ústavu fyziky a technologií plazmatu

Naše výzkumná skupina Depozice tenkých vrstev a nanostruktur se specializuje na použití plazmatu při přípravě tenkých vrstev a nanomateriálů. Zabýváme se PVD (Fyzikální depozice z plynné fáze) technikami s důrazem na magnetronové naprašování a HiPIMS (High-Power Impulse Magnetron Sputtering), PECVD (Plazmatem podporovaná chemická depozice z plynné fáze) technikami i mikrovlnnými a vysokofrekvenčními metodami přípravy moderních nanomateriálů.

Součastí naší práce je navrhování nových materiálů, design výrobních procesů, diagnostika depozičního plazmatu, simulace procesů, teoretické modelování materiálových vlastností a analýza připravených vrstev a nanomateriálů. Charakterizujeme složení, morfologii, krystalickou strukturu, chemické vazby, elektrické, optické, mechanické a funkční vlastnosti syntetizovaných tenkých vrstev a nanomateriálů.

Náš tým

Bez popisku

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

ředitel Ústavu fyziky a technologií plazmatu a vedoucí výzkumné skupiny

vasina(zavináč)physics.muni.cz
ORCID LinkedIn

Bez popisku

doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Komplexní analýza mechanických vlastností tenkých vrstev

vilmab(zavináč)physics.muni.cz
ORCID Scholar

Bez popisku

doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.

Výzkum a vývoj nových typů materiálů, depoziční procesy přípravy tenkých vrstev, analýzy a charakterizace vrstev

soucek(zavináč)mail.muni.cz
ORCID LinkedIn Scholar

Bez popisku

doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.

Prostorově a časově rozlišená diagnostika plazmatu, studium nestabilit v plazmatu, HiPIMS

hnilica(zavináč)mail.muni.cz
ORCID LinkedIn Scholar

Bez popisku

Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.

Příprava a analýza nanočástic a nanostruktur, diagnostika mikrovlnných výbojů

ondrej.jasek(zavináč)mail.muni.cz
ORCID LinkedIn Scholar

Bez popisku

Mgr. Peter Klein, Ph.D.

Diagnostika HiPIMS plazmatu pomocí optické emisní spektroskopie, rychlé kamery a sond

pklein(zavináč)mail.muni.cz
ORCID LinkedIn Scholar

Bez popisku

Mgr. Matej Fekete, Ph.D.

Výzkum a vývoj nových typů materiálů, diagnostika depozičního procesu

fekete(zavináč)physics.muni.cz
ORCID LinkedIn Scholar

Bez popisku

Ing. Jaroslav Ženíšek, Ph.D.

Ab-initio výpočty struktury a vlastností povlaků, příprava a analýza povlaků ve formě kovových skel

jzenisek(zavináč)mail.muni.cz
Scholar

Bez popisku

Mgr. Pavel Ondračka, Ph.D.

Ab-initio výpočty struktury a vlastností povlaků na trojprvkové bázi WBC

ondracka(zavináč)mail.muni.cz
ORCID LinkedIn Scholar

Bez popisku

Mgr. Stanislava Debnárová, Ph.D.

Diagnostika PVD procesů, příprava tenkých vrstev a analýzy

debnarova(zavináč)mail.muni.cz
ORCID LinkedIn Scholar

Bez popisku

Thanka Rajan Senthil Perumal, PhD.

PVD příprava tenkých vrstev stabilizovaných vysokou entropií

255372(zavináč)mail.muni.cz
ORCID Scholar

Bez popisku

Mgr. Štěpánka Kelarová, Ph.D.

Vývoj PECVD technologií pro tenké vrstvy a analýza tenkých vrstev

kelarova.s(zavináč)mail.muni.cz
ORCID LinkedIn Scholar

Bez popisku

Sahand Behrangi, M.Sc., Ph.D.

Průmyslové PVD depozice Industrial deposition a cahrakterizace tenkých vrstev

behrangi(zavináč)mail.muni.cz

ORCID LinkedIn Scholar

Bez popisku

Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D.

Výzkum a analýza povlaků ve formě kovových skel

tschmidtova(zavináč)sci.muni.cz
ORCID LinkedIn Scholar

Doktorští studenti

Bez popisku

Mgr. Ondrej Kubinec

Vývoj a studium materiálů s termoelektrickými vlastnostmi

500240(zavináč)mail.muni.cz

Bez popisku

Mgr. Martin Ondryáš

Porozumění multipulznímu HiPIMS procesu, příprava a charakterizace deponovaných vrstev

484247(zavináč)mail.muni.cz

Bez popisku

Mgr. Tomáš Rada

Průmyslová depozice tenkých vrstev za podmínek zvýšené ionizace rozprášených částic

t.rada(zavináč)mail.muni.cz

Bez popisku

Mgr. Martin Učík

Depoziční proces využívající pulzního oblouku synchronizovaného s přiváděným napětím na vzorky pro depozici tvrdých AlTiN a AlCrN vrstev

540833(zavináč)mail.muni.cz

Bez popisku

Mgr. Richard Václavik

Vývoj nanostrukturovaných plazma-polymerních tenkých vrstev deponovaných v prašném plazmatu

451769(zavináč)mail.muni.cz

Bez popisku

Mgr. Lukáš Vrána

Výzkum nitridů stabilizovaných vysokou entropií připravených magnetronovým naprašováním

lvrana(zavináč)mail.muni.cz

Chcete se připojit k našemu výzkumu? Napište nám. Spolupracujeme s vědeckými organizacemi z celého světa a se společnostmi zaměřujícími se na PVD technologie. Mezi aplikace našich povlaků a nanomateriálů patří:

mechanické ochranné povlaky – strojírenství
ohebná elektronika
optoelektronika

aerospace a automobilový průmysl
skladování vodíku a elektrické energie
senzorika

PVD LAB

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

PECVD metody a analýza mechanických vlastností

doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Mikrovlnná a vysokofrekvenční laboratoř

Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.

Události

12. 1. 2026

Den otevřených dveří 2026

9:00 – 16:00

Všechny tři ústavy fyziky PřF MU vás zvou na Den otevřených dveří 2026. Program fyzikálních ústavů bude upřesněn.

Novinky a články

1. 9. 2023

Změna názvu ÚFE od 1.9.2023

Od 1.září 2023 dochází ke změně názvu Ústavu fyzikální elektroniky Přírodovědecké fakulty. Nový český název je „Ústav fyziky a technologií plazmatu“ (zkratka ÚFTP). Anglický ekvivalent je „Department of Plasma Physics and Technology“ (zkratka DPPT).

31. 7. 2023

Nový diagnostický přístroj RFEA

Od poloviny července mají vědci k dispozici nové zařízení rozšiřující dosavadní diagnostické možnosti při procesu nanášení tenkých vrstev. RFEA (Retarding Field Energy Analyser) umožňuje časově rozlišená měření dopadajících iontů například právě při magnetronovém naprašováni tenkých vrstev.

24. 4. 2023

Zahájení projektu Senzorika pro 21. století

Od března 2023 je v řešení nový projekt Senzorika pro 21. století. Na tomto projektu budou pracovat vědci z výzkumné skupiny prof. Mgr. Petra Vašiny, Ph.D. Depozice tenkých vrstev a nanostruktur a centra CEPLANT. Do června 2026 budou se spoluřešiteli Národního centra kompetence MATCA vyvíjet nové senzory pro průmyslové aplikace.

New PVDLAB webpage - beta version